洗浄液中成分濃度・濁度測定
●測定対象；プリント基板、液晶フィルム・配向膜、Siウェハなど、各種洗浄液
●測定対象；水分0～５０％Ｈ2Ｏ、濁度測定・・・可視領域透過率0～100%（可視RGB出力（0～255、3出力））
●計測のﾒﾘｯﾄ；フロンに変わるアルコール系の洗浄液において、その水分が少ないと、発火原因につなが
ります。又、水分が多すぎると洗浄能力が落ちてしまいます。水分測定により最適な水分管理が可能と
なります。またその濁度（汚れ具合）を、色濃度3原色R(赤)、G(緑)、B(青)を0～255段階にてリアルタイム
で出力し監視することが可能で、環境問題や再利用判定にも対応できます。
●ポイント；回収した洗浄液に加水処理をする工程で、バイパスライン中セルを設置し、防爆ファイバ形
センサを使用し 透過式で測定します。
赤外(水分)と可視（濁度）を1台のセンサでリアルタイムで計測可能です。また微量な成分を可視色濃度
測定により求めることも可能です。
