光学ガラス表面反射防止膜WET薄膜厚さ測定
●測定対象；光学ガラス表面反射防止膜剤WET薄膜厚さ測定
●測定対象；成膜厚み 0.3～3μｍ
●計測のﾒﾘｯﾄ；光学ガラス表面反射防止膜剤WET薄膜厚さを計測します。ガラス基板に反射防止剤を滴下し、高速スピンコータ(基板高速回転にて薄く延ばす成膜)にて薄膜成膜中の厚みを計測します。
薄膜の光干渉現象を使用し膜厚みを計測する為、非常に高精度で計測が可能です。
また非常に高速で干渉波形測定ができる為、高速スピン中をリアルタイムで計測ができ、薄膜製膜の精度向上(品質向上)、歩留りも向上が可能です。
