我们提供适合您的扩散炉或 CVD 炉形状的石英保护管热电偶。
温度控制和监控的回路解决方案
如果从加热器到炉壁晶圆的热传递需要很长时间,控制就会变得困难。
在这种情况下,控制器必须在配置中级联,这可以通过奇诺仪器来实现。
此外,还可以使用记录仪集中管理晶流管和控制器信息。
- 石英保护热电偶:截面型热电偶、L型热电偶、尖峰热电偶
- 调节器 SB 系列:也用于多区控制
- 图形记录仪KR系列:通过RS-485进行集中管理
- 晶闸管调节器JM系列:标配设定显示装置一体型