碳坩埚的上下安装有红外温度仪,通过测量窗口监测SiC原料和晶体的温度。
精确的温度控制对于生长高纯度碳化硅晶体极为重要。该方法将红外温度仪放置在碳锅的上方和下方,通过测量窗口直接监测从SiC原料到生长晶体的温度。
- 红外温度仪(带镜):测量顶部和底部两点的温度,精度高
- 测量窗口、外部监视器:确保可见性并允许使用视频输出图像观察晶体表面
- 设定显示:通过4至20mA连接至PLC系统
这有助于实时了解整个SiC晶体生长过程中的温度分布,从而提高质量并优化生产效率。
这有助于实时了解整个SiC晶体生长过程中的温度分布,从而提高质量并优化生产效率。
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