人造金刚石的制造、量产及装置开发的研究开发

MPCVD Lab-Grown Diamonds

人造钻石不再仅仅用作珠宝;它们在半导体装置中的应用越来越受到关注。
在使用MPCVD(微等离子体化学气相沉积)的金刚石晶体制造设备中,测量的重点是窗玻璃的状态不易受到氢气和甲烷等混合等离子体的影响,或者由于长期运行而在窗玻璃上沉积碳。
利用该红外温度仪进行在线测量控制将有助于生产高质量的人造金刚石晶体。