半导体晶圆抗蚀剂剥离液用浓度计

使用以往的离线水分计进行批量测量时,
未注意到浓度变化而产生不良批次,
难以判断剥离液的劣化,更换时机不明确,
因水分不足而潜在起火风险。
通过本产品的实时在线浓度监视,安全性、生产性、成本全面改善

选择理由4个理由

易于部署
光纤分离,可轻松安装到现有生产线
现场支持
从样品试验到交付现场,在线环境必不可少的支持
丰富的产品阵容
根据安装环境定制的模型提案(可见混合式、防爆)
液体再利用提案
也可以作为将测定后的液体返回现有储罐的装置进行提案

建议的计量管理系统

KRH.25023.Semicon regist kiquid

*请下载并查看应用程序示例。

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其他信息

适用领域:半导体制造工艺
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对象工序:光刻胶剥离工序
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主要效果:避免起火风险、延长液体寿命、减少不良、品质稳定

如果您在温度管理方面遇到任何问题,
请随时与我们联系

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