精心抛光的晶圆在最终检查中被判断为“缺陷”，并且成品率没有提高。没有这样的课题吗?最终高度测定为“结果发表”。但是，即使在那里发现问题也为时已晚。重要的是掌握研磨过程中的状态。钥匙是眼睛看不到的“温度”。研磨中的温度不均才是影响最终品质的最大因素。本文介绍了通过温度稳定抛光过程的具体解决方案。
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