Chapter 1
用于硅单晶提升炉的IR-CZ系列
在硅单晶制造过程中，控制温度并监测晶体生长状态至关重要。IR-CZ系列是一款视频输出的红外温度仪，旨在通过结合视频和温度数据来测量温度。
产品简介
IR-CZ系列可在对晶体生长炉中的硅溶液或正在拉制中的晶体进行视频显示的同时，测量其位置和状态，并测定其辐射温度。
可在确认测量对象的选择和观察条件的同时进行测量，支持结晶提升工序的温度测量。
主要特征
最高可支持2000°C高温
适用于以高温结晶成长工程为对象的温度测量。
同时查看视频和温度
可以一边通过视频确认测量对象的状态，一边测量放射温度。
数据存储和分析
可以保存温度数据，以便以后进行确认和分析。
高画质影像
对应120万像素的影像，支援测定对象的状态确认。
节省布线配置
通过PoE集线器连接实现低布线配置。
电脑实时显示
连接到PC,您可以查看图像，温度和趋势图表。
Chapter 2
硅单晶提升炉的温度测量
在硅单晶提升炉中，要求在确认晶体生长时的状态的同时测量温度。
在IR-CZ系列中，您不仅可以查看温度数据，还可以通过视频图像检查要测量的状态和位置。
| 要检查的信息 | IR-CZ系列中要检查的内容 |
|---|---|
| 测量对象 | 确定要测量温度的对象，例如硅溶液或正在提升的晶体。 |
| 测量位置 | 在查看视频图像的同时，检查测量位置和目标状态。 |
| 温度 | 使用红外温度仪测量物体的温度。 |
| 时间变化 | 可以保存温度数据，作为趋势进行确认和分析。 |
关于半导体制造中的温度管理整体，在“什么是半导体制造中的温度管理?”中进行了详细整理。
Chapter 3
系统配置和连接示例
IR-CZ系列不仅可以在主体上使用，还可以通过组合接口，网络，PC等来检查视频，温度，趋势图。
| 组件 | 角色 |
|---|---|
| IR-CZ主机 | 获取视频和辐射温度。 |
| I/F转换器 | 用作主机和连接设备之间的接口。 |
| PoE集线器或RS-485 | 根据系统配置进行连接。 |
| 电源 | 使用24V直流电。 |
| PC | 它显示视频、温度和趋势图。 |
关于与工厂网络和上位装置的连接，将在确认设备构成和通信条件的基础上进行探讨。
Further reading
IR-CZ系列详细资料
您还可以查看 IR-CZ 系列的规格和系统配置的 PDF 文件。
在网页上查看产品概述，然后查看详细资料。
