Chapter 1
为什么半导体现在如此重要
半导体是具有导电导体和几乎不导电的绝缘体的中间性质的材料。
利用这一特性制造的半导体装置用于计算和存储电信号以及控制功率。
AI·数据中心
半导体用于进行大量计算的处理器和存储器等。
智能手机
半导体支持计算,通信,相机,数据存储等许多功能。
汽车
半导体被广泛应用于车辆控制、传感器、通信和电力控制等领域。
工厂、社会基础设施
产业机器、通信设备、能源设备等也离不开半导体。
如果您想了解半导体本身的含义和类型,请参阅基本文章。
Chapter 2
半导体是怎么生产的?
在完成小型半导体芯片之前,有许多精确的制造过程。让我们简要介绍一下整体情况。
Step 1
制作晶片
用高纯度的硅等制作结晶,加工成薄圆盘状。这个圆盘就是“晶片”。
Step 2
制作薄膜
在晶片表面形成半导体、绝缘体、导体等的薄膜。
Step 3
创建回路样式
它使用光等在晶圆上形成非常精细的电路图案。
Step 4
删除不必要的部分
在称为“蚀刻”的过程中,加工材料时保留所需的图案。
Step 5
制造电性质
通过扩散和离子注入等,调整材料的电气性质。
Step 6
检查后制成产品
我们对晶圆上装置进行检查和隔离,然后进行必要的连接和封装。
在实际的半导体制造过程中,这些工艺并非每次只执行一次。为了形成所需的结构,装置需要反复经历诸如薄膜沉积、曝光和蚀刻等工艺才能最终成型。
Chapter 3
这里出现的“温度”的无形条件
在半导体制造中,有加热材料、发生化学反应、形成薄膜的工序。
在这些过程中,温度会影响材料的反应和状态。
因此,重要的不仅仅是“变热”。
设定所需的温度
使温度接近工艺要求。
稳定温度
它最大限度地减少了加工过程中的温度波动,保持了重复性状态。
了解温度不均
检查设备内部和物体位置是否存在温差。
重现相同条件
记录制造条件,以便在以下过程中重现相同的状态:。
如果您想更多地了解半导体制造中的温度管理,请参阅专业文章。
Chapter 4
温度与什么过程有关?
| 工程和设备 | 与温度的关系 |
|---|---|
| 硅单晶的制备 | 在熔化原料、使结晶成长的工序中掌握并管理温度状态。 |
| 扩散热处理 | 由于晶圆是在高温环境下加工的,因此测量和控制炉温至关重要。 |
| CVD等成膜 | 为了利用化学反应形成膜,作为工艺条件之一需要温度管理。 |
| SiC晶体生长 | 为了使晶体在高温环境下生长,研究了非接触温度测量等。 |
| 设备和设备 | 为了监视装置的状态和稳定运行,有时会测量各部分的温度。 |
Chapter 5
那么我们如何测量温度呢?
半导体制造中使用的温度测量方法不止一种。
合适的方法取决于测量对象、温度范围、接触能力、设备结构等。
热电偶
一种接触式温度传感器,用于包括高温区在内的广泛温度测量。也用于炉子等的温度测量。
测温电阻
利用铂等的电阻值变化测量温度。用于需要稳定的温度测量的场合。
红外温度仪
利用对象物放射的红外线,在不接触对象的情况下测量表面温度。用于高温物品和难以接触的对象。
详细了解接触式
了解更多关于非接触式的信息
Chapter 6
测量温度的目的不是“了解温度”
半导体工厂测量温度不仅仅是因为他们想知道温度本身。
我真正想知道的是制造条件是否达到目标,是否可以重现相同的质量,是否有任何异常迹象。
| 测量 | 了解流程的温度状态 |
|---|---|
| 控制 | 接近目标温度状态 |
| 记录 | 允许以后查看制造条件 |
| 监视 | 注意异常和变化 |
| 校正 | 验证测量的可靠性 |
以这种方式获得的数据是考虑质量和产量的重要判断材料。
为什么选择CHINO?
温度测量厂商CHINO为何谈半导体?
半导体是世界上高度技术聚集的产业之一。
其中,CHINO不负责制造半导体本身。
制造工序中的“正确把握温度”部分。
在CHINO,我们通过热电偶等温度传感器、红外温度仪、记录仪、调节仪、监控系统以及校准相关的产品与服务,为温度测量、控制及监控提供支持。
如果您想更深入地了解半导体和温度之间的关系
从这里开始,我们将根据目的继续专业文章。
深化温度管理
Summary
从温度的角度来看半导体的演变
半导体是由许多先进的制造技术组合而成的。
其中,温度涉及各种场景,例如材料反应,热处理,成膜,晶体生长,设备状态。
人工智能和汽车等光鲜亮丽的技术背后,是“测量”、控制”、“记录”和“监控”等艰苦的技术。
在观看半导体时,请务必查看其背面的“温度”。